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多功能实验设备Ⅲ适用于高校及科研院所使用,具备功能多可改装空间大等特点。可选配电弧蒸发源、磁控溅射靶(DC.MF.RF)、阳极层离子源或电阻蒸发源等。
多功能实验机Ⅰ
多功能实验机Ⅱ
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