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1180系列类金刚石涂层设备主要技术参数 | ||
序号 | 参数项 | 数据 |
1 | 可安装靶材数量 | MAX可配6个通用接口， 可按需配置平面靶及离子源数量 |
2 | 有效镀膜区 | 直径780mm~920mm可选，基础高度700mm， 其它高度按需提供，MAX可达2000mm |
3 | 转盘承重 | 800kg（基础款），MAX可达1500kg |
4 | MAX加热温度 | 350°C |
5 | 涂层周期 | 8-16小时/炉 |
6 | 技术特点 | 1.非平衡闭合磁控阴极技术（UBM） 2.智能挡板（SS） 3.阳极层离子源 |
7 | 应用范围 | 1180系列涂层设备能够处理的涂层，如DLC、GLC、WC/C、溅射CrN以及所有这些涂层的组合。 |
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