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1180系列类金刚石涂层设备主要技术参数序号参数项数据1可安装靶材数量MAX可配6个通用接口,可按需配置平面靶及离子源数量2有效镀膜区直径780mm~920mm可选,基础高度700mm,其它高度按需提供,MAX可达2000mm3转盘承重80