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PVD1688装饰涂层设备主要技术参数与配置:1、真空室容积:φ1688*1200;2、工位:20个/24个/28个或按需提供,工件回转直径180mm;3、可装可移动平面靶:2支;4、上盖预留:8对φ70靶位,其中门两侧4对可与2对φ100