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1180系列类金刚石涂层设备主要技术参数序号参数项数据1可安装靶材数量MAX可配6个通用接口,可按需配置平面靶及离子源数量2有效镀膜区直径780mm~920mm可选,基础高度700mm,其它高度按需提供,MAX可达2000mm3转盘承重80
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V201硬质涂层设备主要技术参数表序号参数项V201-8V201-9V201-121可安装靶材数量2组不同的靶材(4支为一组)3组不同的靶材(3支为一组)3组不同的靶材(4支为一组)2有效镀膜区φ700*800mmφ700*600mmφ70
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PVD1688装饰涂层设备主要技术参数与配置:1、真空室容积:φ1688*1200;2、工位:20个/24个/28个或按需提供,工件回转直径180mm;3、可装可移动平面靶:2支;4、上盖预留:8对φ70靶位,其中门两侧4对可与2对φ100
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PVD12512装饰涂层设备主要技术参数与配置:1、真空室容积:φ1250*1200;2、工位:16个或18个,工件回转直径160mm;3、靶、弧:通用接口设计,可按需配置;4、推荐配置:4对70靶+10支弧靶的IP黑机型或1对φ100靶+