V201硬质涂层设备主要技术参数表 | ||||
序号 | 参数项 | V201-8 | V201-9 | V201-12 |
1 | 可安装靶材数量 | 2组不同的靶材 (4支为一组) | 3组不同的靶材 (3支为一组) | 3组不同的靶材 (4支为一组) |
2 | 有效镀膜区 | φ700*800mm | φ700*600mm | φ700*800mm |
3 | 转盘承重 | 800kg | 700kg | 800kg |
4 | MAX加热温度 | 600℃ | ||
5 | 涂层种类 | TiN、CrN、ZrN、TiAIN、AITiN、AlCrN、AICrSiN、TiSiN等单层或多层硬质涂层。 | ||
6 | 涂层周期 | 8-10小时/炉 | 6-8小时/炉 | 8-10小时/炉 |
7 | 应用范围 | 主要针对市场为模具配件类涂层应用,兼顾刀具涂层,是性价比很高的中大型涂层系统。 | 主要针对市场为刀具类涂层应用,兼顾模具涂层的中型涂层系统,是刀具行业的理想之选。 | 作为V201-9的涂层系统的中大机型版本,装载量增加25%-30%,是适用于大多数生产要求的全能型涂层系统。 |
8 | 技术特点 | 1.双磁场驱动磁性系统(DMS) 2.侧向辉光增强离子刻蚀技术(SEGD) 3.等离子比例分配调节技术(POT) |
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